میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

تماس بگیرید

 میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

Scanning Electron Microscope (SEM)

معرفی دستگاه

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یکی از پیشرفته‌ترین تجهیزات تصویربرداری و آنالیز سطحی در علوم مواد، نانوفناوری، زمین‌شناسی، صنایع معدنی، دارویی، الکترونیک و تحقیقات دانشگاهی است که برای مشاهده و بررسی ساختار سطحی نمونه‌ها با بزرگنمایی و وضوح بسیار بالا مورد استفاده قرار می‌گیرد.

برخلاف میکروسکوپ‌های نوری که از نور مرئی استفاده می‌کنند، دستگاه SEM با بهره‌گیری از باریکه‌ای از الکترون‌ها امکان تصویربرداری از سطح نمونه در مقیاس میکرومتر تا نانومتر را فراهم می‌سازد و اطلاعات ارزشمندی از مورفولوژی، شکل، اندازه ذرات، توپوگرافی و ترکیب عناصر موجود در نمونه ارائه می‌دهد.

افزودن به سبد خرید
  • مشخصات محصول
  • عملکرد دستگاه
  • کاربردها
  • مزایا
  • تجهیزات جانبی
نوع دستگاهScanning Electron Microscope
منبع تولید الکترونTungsten Filament / LaB6 / Field Emission Gun (FEG)
محدوده بزرگنماییحدود 10× تا بیش از 500, 000×
قدرت تفکیکحدود 0.5 تا 10 نانومتر (بسته به مدل دستگاه)
ولتاژ شتاب‌دهندهمعمولاً 0.5 تا 30 kV
سیستم خلأHigh Vacuum / Low Vacuum / Variable Pressure
آشکارسازSE، BSE، EDS/EDX، EBSD (اختیاری)
نوع نمونه‌هافلزات، سرامیک‌ها، پلیمرها، مواد معدنی، پودرها، پوشش‌ها
آماده‌سازی نمونهخشک کردن، تثبیت، پوشش‌دهی رسانا در صورت نیاز
نمایش تصویرتصاویر سطحی با وضوح بالا و اطلاعات مورفولوژی
قابلیت اتصال تجهیزات جانبیEDS، WDS، EBSD، Cathodoluminescence و سایر سیستم‌ها

عملکرد دستگاه SEM

در میکروسکوپ الکترونی روبشی، یک تفنگ الکترونی (Electron Gun) پرتو الکترونی با انرژی مشخص تولید کرده و این پرتو توسط مجموعه‌ای از لنزهای الکترومغناطیسی و سیم‌پیچ‌های روبشی، به صورت نقطه‌ای روی سطح نمونه حرکت داده می‌شود.

بر اثر برخورد پرتو الکترونی با سطح نمونه، سیگنال‌های مختلفی تولید می‌شوند که توسط آشکارسازهای دستگاه دریافت و به تصویر یا اطلاعات تحلیلی تبدیل می‌شوند. مهم‌ترین سیگنال‌های مورد استفاده عبارتند از:

  • الکترون‌های ثانویه (Secondary Electrons - SE):
    برای ایجاد تصاویر با جزئیات بسیار بالا از توپوگرافی و شکل سطح نمونه.
  • الکترون‌های برگشتی (Backscattered Electrons - BSE):
    برای بررسی تفاوت ترکیبی و تغییرات عناصر با وزن اتمی متفاوت.
  • اشعه ایکس مشخصه (Characteristic X-ray):
    جهت آنالیز ترکیب شیمیایی عناصر موجود در نمونه با استفاده از آشکارساز EDS/EDX.

کاربردهای میکروسکوپ SEM

1- علوم مواد و متالورژی

  • بررسی ساختار سطح فلزات و آلیاژها
  • مطالعه شکست، خوردگی و سایش مواد
  • بررسی پوشش‌های سطحی و لایه‌های نازک

2- صنایع معدنی و زمین‌شناسی

  • بررسی کانی‌ها و سنگ‌ها
  • تعیین مورفولوژی و ترکیب عناصر معدنی
  • شناسایی ناخالصی‌ها و فازهای مختلف مواد

3- نانوفناوری

  • مشاهده و اندازه‌گیری نانوذرات
  • بررسی ساختار مواد نانویی
  • کنترل کیفیت محصولات نانومواد

4- صنایع دارویی و شیمیایی

  • بررسی اندازه و شکل ذرات پودرها
  • کنترل کیفیت مواد اولیه دارویی
  • مطالعه کاتالیست‌ها و مواد شیمیایی

5- صنایع الکترونیک و نیمه‌هادی‌ها

  • بررسی مدارهای مجتمع (IC)
  • کنترل عیوب ساختاری
  • آنالیز لایه‌های نازک

6- تحقیقات دانشگاهی و آزمایشگاهی

مطالعات تحقیقاتی در فیزیک، شیمی، زیست‌فناوری و مهندسی

مزایای میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

✅ وضوح تصویری بسیار بالا
قابلیت مشاهده جزئیات سطحی در محدوده چند نانومتر و حتی کمتر در مدل‌های پیشرفته.

✅ بزرگنمایی گسترده
امکان بزرگنمایی از چند ده برابر تا صدها هزار برابر.

✅ عمق میدان زیاد (High Depth of Field)
ایجاد تصاویر سه‌بعدی‌مانند با وضوح بالا از سطح نمونه.

✅ امکان آنالیز ترکیب عناصر
با نصب سیستم EDS/EDX امکان شناسایی عناصر موجود در نمونه فراهم می‌شود.

✅ تنوع بالای کاربردها
قابل استفاده در صنایع مختلف از تحقیقات علمی تا کنترل کیفیت صنعتی.

✅ نیاز کمتر به آماده‌سازی نمونه نسبت به TEM
بسیاری از نمونه‌ها با آماده‌سازی ساده‌تر قابل بررسی هستند.

تجهیزات جانبی قابل نصب روی SEM

  • EDS / EDX Detector:
    برای آنالیز عناصر و تعیین ترکیب شیمیایی نمونه
  • EBSD Detector:
    برای بررسی جهت‌گیری کریستالی و ساختار بلوری مواد
  • Coating System:
    جهت پوشش‌دهی نمونه‌های غیررسانا با طلا، پلاتین یا کربن
  • Cryo-SEM:
    برای بررسی نمونه‌های زیستی و حساس در دمای پایین
سبد خرید