یک تکنیک پیشرفته آنالیز عنصری است که برایشناسایی و تعیین ترکیب عناصر در نمونه‌های مختلف از جمله سوسپانسیون، پودر، نانوذرات یا فیلم استفاده می‌شود که این امر به عنوان یک مزیت نسبت به دستگاه هایی نظیر ICP به حساب می آید. در این تکنیک، پرتوهای ایکس به طور خاص به سطح نمونه تابانده می‌شوند و تنها پرتوهای فلورسانس که از سطح نمونه ساطع می‌شوند، مورد تحلیل قرار می‌گیرند.این فرآیند به دلیل بازتاب کامل پرتوها از سطح نمونه، دقت بسیار بالایی را در اندازه‌گیری فراهم می‌کند. این امر آن را جلوتر از ICP قرار می دهد که به نمونه های مایع کاملاً محلول نیاز دارد. این روش به دلیل حساسیت بسیار بالا و توانایی شناسایی عناصر در سطوحppb، در تحقیقات علمی و صنعتی کاربرد گسترده‌ای دارد.
TXRF کمترین هزینه های عملیاتی را داشته و به مواردی چون کپسول های گاز و یا زیرساخت های آزمایشگاهی پیچیده نیاز ندارد و به دلیل کاهش اثرات زمینه، محدودیت‌های تشخیص چندین مرتبه کمتر است.
