در این روش، پرتوهای ایکس فلورسانس به طور مستقیم به یک آشکارساز انرژی پراکننده (Energy Dispersive Detector)میرسند .این آشکارساز قادر است انرژی پرتوهای ایکس را اندازهگیری کند و بر اساس آن، عناصر موجود در نمونه را شناسایی کند.دقت و حساسیت این روش نسبت به WDXRF کمتر است اما مدت زمان آنالیز کوتاه تر خواهد بود.
یک تکنیک پیشرفته آنالیز عنصری است که برایشناسایی و تعیین ترکیب عناصر در نمونههای مختلف از جمله سوسپانسیون، پودر، نانوذرات یا فیلم استفاده میشود که این امر به عنوان یک مزیت نسبت به دستگاه هایی نظیر ICP به حساب می آید. در این تکنیک، پرتوهای ایکس به طور خاص به سطح نمونه تابانده میشوند و تنها پرتوهای فلورسانس که از سطح نمونه ساطع میشوند، مورد تحلیل قرار میگیرند.این فرآیند به دلیل بازتاب کامل پرتوها از سطح نمونه، دقت بسیار بالایی را در اندازهگیری فراهم میکند. این امر آن را جلوتر از ICP قرار می دهد که به نمونه های مایع کاملاً محلول نیاز دارد. این روش به دلیل حساسیت بسیار بالا و توانایی شناسایی عناصر در سطوحppb، در تحقیقات علمی و صنعتی کاربرد گستردهای دارد.
TXRF کمترین هزینه های عملیاتی را داشته و به مواردی چون کپسول های گاز و یا زیرساخت های آزمایشگاهی پیچیده نیاز ندارد و به دلیل کاهش اثرات زمینه، محدودیتهای تشخیص چندین مرتبه کمتر است.
یک دستگاه آنالیز اشعه ایکس غیر مخرب است که امکان تجزیه و تحلیل سریع و در محل مواد را با هدایت اشعه ایکس به یک نمونه و اندازه گیری فلورسانس حاصل برای تعیین ترکیب عنصری آن فراهم می کند و برای تجزیه و تحلیل عناصر در صنایع مختلف از جمله معدن، فولاد، پتروشیمی و ...کاربرد دارد.